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在半導(dǎo)體芯片的制造過程中,有一道工序看似不起眼,卻對芯片良率起著決定性作用——那就是去除光刻膠。而完成這項任務(wù)的設(shè)備,就是等離子去膠機。要理解等離子去膠機,需要先了解“等離子”這個概念。等離子是物質(zhì)的一種狀態(tài),類似于氣體,但其中的部分原子或分子被電離,形成了帶電的離子和自由電子。這種狀態(tài)下的物質(zhì)具有化學(xué)活性,能夠與某些材料發(fā)生反應(yīng)。等離子去膠機正是利用這一原理工作的設(shè)備。它通過射頻電源將氧氣或其他氣體電離,產(chǎn)生含有高能氧離子和自由基的等離子體。當(dāng)這些活性粒子與芯片表面的光刻膠...
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小型等離子清洗機是一種使用等離子體技術(shù)進行清洗的設(shè)備。等離子體是由氣體分子中的電子和離子構(gòu)成的第四態(tài)物質(zhì),具有高溫、高壓、高速等特點,能夠作用于材料表面,去除污染物和氧化物等有害物質(zhì),從而實現(xiàn)表面清潔和增強粘合性。以下是圍繞小型等離子清洗機的一些介紹。小型等離子清洗機的優(yōu)點小型等離子清洗機是一種高效、環(huán)保、經(jīng)濟、易操作的清洗設(shè)備。它的清洗過程無需使用化學(xué)藥品和水等資源,因此不會產(chǎn)生任何污染。它可以對任何形狀的物體進行清洗,可用于半導(dǎo)體、電子、機械、醫(yī)療、食品等行業(yè)。清洗的效率...
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Pluto30是專為研發(fā)而設(shè)計的全功能等離子體系統(tǒng),13.56MHz射頻發(fā)生器和自動匹配網(wǎng)絡(luò)電源在整個過程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。Pluto30的真空腔可支持多達7個可調(diào)節(jié)樣品架,以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設(shè)置,可配置成RIE和PECVD模式,從而擴大了該系統(tǒng)的應(yīng)用范圍,提供給用戶良好的靈活性。復(fù)旦大學(xué)高分子系老師希望用該設(shè)備進行等離子體化學(xué)反應(yīng)的實驗,即利用設(shè)備產(chǎn)生的等離子體在真空泵和氣體閥門關(guān)閉的情況下與真空腔內(nèi)的物質(zhì)進行化學(xué)反應(yīng),然后獲取化學(xué)反...
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清華大學(xué)調(diào)研了眾多等離子表面處理設(shè)備,最終選擇了上海沛沅生產(chǎn)的Pluto-T等離子清洗機/表面處理機。根據(jù)客戶的技術(shù)要求,提供了可以滿足老師所有技術(shù)參數(shù)要求的Pluto-T等離子清洗機/表面處理機,以下為該設(shè)備的安裝調(diào)試圖。上海沛沅儀器生產(chǎn)的Pluto-T等離子清洗機/等離子處理機是一款桌面式等離子設(shè)備,具有性能穩(wěn)定、性價比高、操作簡便、使用成本極低、易于維護的特點。對各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面進行超清洗和改性。有效地清除樣品表面的...
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中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)(UniversityofScienceandTechnologyofChina),位于安徽省合肥市,是中國科學(xué)院直屬的一所以前沿科學(xué)和高新技術(shù)為主,兼有醫(yī)學(xué)、特色管理和人文學(xué)科的綜合性全國重點大學(xué),中央直管副部級建制,由中科院、教育部和安徽省三方重點共建;建設(shè)高校A類、985工程、211工程,入選珠峰計劃、強基計劃、111計劃、2011計劃、中國科學(xué)院知識創(chuàng)新工程、國家建設(shè)高水平大學(xué)公派研究生項目、全國深化創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)教育改革示范高校、中國政府獎學(xué)金來華留學(xué)生接...